在生产过程中，大型真空喷涂设备包括大量目标，大量电源，电源与目标之间的大量电缆，以及电缆发现在线盒中。而，目标更换周期在短时间内是紧密的，并且工人将不可避免地在喷射供给源和阴极之间磨损冠部。旦喷涂进料和阴极表冠磨损，就会有一定的安全风险。了避免这些隐藏的错误并避免隐患，可以使用具有自动感应功能的喷涂电缆是必要的。控溅射;溅射电源;目标（阴极）; PLC;人机界面中图分类号：TP307文献标识码：A文章编号：1009-2374（2014）04-0045-02磁控溅射原理磁控溅射的原理是电子与原子原子碰撞。气在电场E的作用下飞向基板，迫使它们电离产生Ar阳离子和新电子，新电子飞向基板。Ar离子在电场的作用下加速到阴极靶并以高能量轰击靶的表面以引起靶的溅射。粉碎的颗粒中，中性靶原子或分子沉积在基板上以形成薄膜，并且所产生的二次电子经受电场和磁场以产生由E表示的定向漂移（场电气）×B（磁场）。E×B，其运动路径类似于摆线。环形磁场的情况下，电子在大约摆线形状的目标表面上进行圆周运动，它们的轨迹不仅很长，而且还被困在目标表面附近的等离子体区域中。在这个地区电离很多。Ar轰炸目标以实现高存款率。着碰撞次数的增加，二次电子的能量耗尽，逐渐远离目标表面移动，并最终在电场E的作用下沉积在基板上。于电子的能量非常小，传递到基板的能量很低，这导致基板在低温下上升。
控溅射是入射粒子与靶之间碰撞的过程。射粒子在靶中经历复杂的扩散过程，与靶原子碰撞并将一部分动量传递到靶原子，
矿用电缆然后靶原子与其他靶原子碰撞形成靶原子。联过程。这个级联期间，靠近表面的一些目标原子获得足够的动量以向外移动并且目标被投射。造电缆的需要根据磁控溅射的原理，在溅射过程中必须存在电场，因此用于为溅射提供电场的电源是必不可少的，并且由于不同的工艺要求，有许多类型的电源。直流电，脉动直流电和交流电。
于不同公司的权力不同，本文仅使用公司的直流电源。大输出功率为30 kW，开路电压为800 V，输出电缆的截面积为50平方毫米。溅射工艺中，首先通过电缆连接DC电源和阴极靶。于目标和设备是隔离的并且设备具有可靠的接地，因此DC电源的正极可以直接连接到设备，阴极连接到目标的端子。
于在生产过程中不需要移动设备，因此可以一次直接连接阳极。于目标是要更换的消耗品，电源的输出功率越高，目标的更换越长，电源的负极越低。于生产过程中的工艺要求，设备上有几个目标和几个目标。时，有几种不同类型的电源：在这种情况下，单电源和单阴极之间没有必要的接线关系，这只是一个问题。据工艺要求和当时的实际情况建立临时布线关系。线方法根据工艺要求而有所不同。时，由于生产任务的要求，这种布线可能不会浪费太多时间。则，效率太低，因此高电流连接器用于生产。电流连接器的使用提高了布线效率并增加了能量的使用，但也增加了一些隐患。电流连接器是电源插座，需要固定公母连接器以允许连接电缆。此，通过简单地将连接器的公连接器和母连接器连接到目标端子和电源的负端子，可以随时更换电源和目标之间的对应关系。
于电缆数量众多，即使标记清晰，也不可避免地导致佩戴表冠的错误。旦张冠李岱的错误，最直接的是设备不能正常生产，其次，存在安全隐患。果溅射电源的输出线连接到错误的目标，如果没有及时发现目标，则可能损坏目标。果溅射馈线没有连接到目标，一旦激活溅射馈电，负极接线插头和装置之间就有800 V电压。避免此类错误，需要使用可自行检测的喷射电缆。检喷雾电缆有两种制造方式：接地可防止喷涂电缆的电击被划伤或老化。
果编织层具有足够的截面，则它也可以用作进料的阳极。于中频交流电源和安全可靠的接地至关重要.3。缩套管不仅是一个绝缘层，它还整体形成喷射电缆，允许区分阴极的末端;该层的多导线，即编码线。芯线的导体数量可取决于阴极的数量。
2线导体的数量> =阴极数 1。码线的接线如下：这里是9针D型插头（插头的类型可以根据编码电缆的线数确定，例如15针或25针D型等等）输入类型IO响亮。述的例子。插座的引脚1连接到公共端子和24V电源（如果输入/输出输入为低电平有效，则引脚1连接到GND）。母插头的引脚2至8连接到为控制器定义的入口点。头的引脚1是公共端，引脚2到8是一个字节的最高位，插头对应的目标号转换为二进制代码，二进制代码对应的引脚为1短 - 带有1号针脚的电路。过读取由母插头的针脚2到8组成的代码，可以知道对应于喷射电缆的阴极数量。体步骤如下：（1）根据溅射源的需要完成溅射馈线的馈线，（2）将串行编码电缆的公共端连接到辅助触点直流电源的交流接触器和交流辅助触点连接只有在电缆打开后才能使用入口点接入点，电缆中存在24 V的电压并且可以知道溅射进料已经进料。里以电源线中的交流接触器为例。果没有AC触点，只需访问24V; （3）根据目标编号焊接相应的插头，并将插头固定在阴极上; （4）将连接母插头的2至8针连接至PLC输入点。于I / O定义，最好将引脚2连接到输入字节的零位以用于计算目的。这里，我们以西门子PLC为例，如I0.0或I10.0等，以便可以直接读取字节; （5）连接直流电源和阴极之间的接线。旦硬件接线然后重新打开，PLC系统必须为必须逐个打开的喷涂电源供电，并检测相应的阴极编号。果在人机界面中预先引入了溅射电源与工艺所需的阴极之间的对应关系，则系统在发现相应的关系误差时会发出警报。需要等待溅射进料被激活。发现接线错误。如：假设PLC是Siemens 300系列，阴极编号为1.通过触摸屏输入的阴极数存储在控制器的DB1.DBW0中（DB1.DBW0：注册地址）在西门子300系列PLC中，一个字长，带断电功能）。
应于第8点的第2点的IO点在I0.0和I0.7之间。编码电缆读取的阴极数存储在PLC的DB1.DBW2中并显示在触摸屏上。射电源的交流接触器具有I1.0的提醒信号。
警的退出点为Q0.0。视程序如下：西门子STEP7中的“//”表示本文中使用的注释，用于简要说明程序的作用。上所述，本发明所述方法的自制喷涂电缆完成了喷涂供料源与阴极之间的自动监控，结构简单，实用，易于使用。单的监控软件，从而避免了人为错误造成的隐患。
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